石墨制品，作為支持半導(dǎo)體材料成長(zhǎng)的關(guān)鍵因素

石墨制品，作為支撐半導(dǎo)體資料生長(zhǎng)的關(guān)鍵因素，其運(yùn)用與開展也日益遭到人們的注重。
高純石墨制品在第三代半導(dǎo)體單晶生長(zhǎng)設(shè)備中發(fā)揮著不可或缺的作用，它們常被用作碳化硅（SiC）單晶生長(zhǎng)爐的石墨坩堝和石墨加熱器，同時(shí)也在GaN外延生長(zhǎng)的石墨基座以及抗高溫?zé)g涂層石墨基座等方面得到廣泛運(yùn)用。

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